等離子清洗機(jī)

一、設(shè)備介紹：

PT1000-PE等離子清洗機(jī)是一款專門針對(duì)科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備，利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面，達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。

二、設(shè)備參數(shù)：

型號(hào)：PT1000-PE

腔體材質(zhì)：鋁合金

供電電源：AC220V

射頻電源功率：0-150W 可調(diào)

射頻頻率：40KHz

真空度：≤100Pa

氣體路數(shù)：雙路

氣體流量：0.1—1L/min(可調(diào))

控制：觸屏/手動(dòng)

清洗時(shí)間：0—300 秒連續(xù)可調(diào)

內(nèi)腔尺寸：226mm*126mm*255mm（寬*高*深）

外形尺寸：471mm*380mm*478mm（寬*深*高）

重量：≈30KG

真空泵：愛特，ARV-4

等離子清洗機(jī)

三、設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)：

1、滿足8寸以下基片使用，適用性廣。

2、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗、機(jī)臺(tái)本身不產(chǎn)生污染物。

3、高效清洗，快速達(dá)成需要的表面親水性。

4、應(yīng)用廣泛，且對(duì)處理產(chǎn)品無損傷，不改變材料特性。